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潔凈室的壓差如何檢測?要求及檢測步驟介紹【詳解】

來源:   時(shí)間:2023-02-23   

壓差測試儀器:

壓差測量可使用微差壓計(jì)、斜管壓力計(jì)、指針式壓力計(jì)或電子式壓力計(jì)??傊?,只要測量范圍和準(zhǔn)確度滿足的儀器即可。壓力表的精度要求為讀數(shù)的5%,視量程的壓力設(shè)計(jì)值而定。通常0~5 mm Aq(0-50 Pa)可以涵蓋室內(nèi)外壓差的測量。


壓差檢測要求:


靜壓差的測量要求是潔凈區(qū)的所有門都關(guān)閉。在潔凈平面上按潔凈度由高到低的順序進(jìn)行,直至檢測到與外界直接相連的房間。測量管口可位于室內(nèi)任意位置,不受氣流影響,測量管口表面與氣流的流線平行,測量和記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。


壓差檢測步驟:


1、首先將所有門關(guān)閉。

2、用微差壓計(jì)測量潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓力差。

3、然后記錄所有數(shù)據(jù):壓差標(biāo)準(zhǔn)要求根據(jù)潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求確定被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。


(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

(2)潔凈室與外界的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。

(3)空氣潔凈度等級嚴(yán)格于5級(100級)的單向流潔凈室開門時(shí),門內(nèi)0.6m處室內(nèi)工作面的粉塵濃度不應(yīng)超過粉塵濃度限值的相應(yīng)級別。

(4)如達(dá)不到上述標(biāo)準(zhǔn)要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量和排風(fēng)量,直至合格。

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